Працэс распылення выпарае зыходны матэрыял, які называецца мішэнню, для нанясення тонкай высокапрадукцыйнай плёнкі на такія вырабы, як паўправаднікі, шкло і дысплеі. Склад мішэні непасрэдна вызначае ўласцівасці пакрыцця, што робіць выбар матэрыялу вельмі важным.
Выкарыстоўваецца шырокі спектр металаў, кожны з якіх абраны для атрымання пэўных функцыянальных пераваг:
Асноўныя металы для электронікі і прамежкавых слаёў
Высокачыстая медзь цэніцца за сваю выключную электраправоднасць. Мішэні з медзі чысцінёй 99,9995% неабходныя для стварэння мікраскапічных правадоў (злучэнняў) унутры сучасных мікрачыпаў, дзе мінімальнае электрычнае супраціўленне мае першараднае значэнне для хуткасці і эфектыўнасці.
Высокачысты нікель служыць універсальнай рабочай конькай. Ён у асноўным выкарыстоўваецца ў якасці выдатнага адгезійнага пласта і надзейнага дыфузійнага бар'ера, які прадухіляе змешванне розных матэрыялаў і забяспечвае структурную цэласнасць і даўгавечнасць шматслаёвых прылад.
Тугаплаўкія металы, такія як вальфрам (W) і малібдэн (Mo), цэняцца за высокую цеплаўстойлівасць і стабільнасць, часта выкарыстоўваюцца ў якасці трывалых дыфузійных бар'ераў і для кантактаў у складаных умовах.
Спецыялізаваныя функцыянальныя металы
Высокачыстае срэбра мае найвышэйшую электрычную і цеплаправоднасць сярод усіх металаў. Гэта робіць яго ідэальным для нанясення высокаправодных, празрыстых электродаў у сэнсарных экранах і бліскучых адбівальных, нізкаэмісійных пакрыццяў на энергазберагальныя вокны.
Каштоўныя металы, такія як золата (Au) і плаціна (Pt), выкарыстоўваюцца для вырабу высоканадзейных, каразійна-ўстойлівых электрычных кантактаў і ў спецыялізаваных датчыках.
Пераходныя металы, такія як тытан (Ti) і тантал (Ta), маюць вырашальнае значэнне дзякуючы сваім выдатным адгезійным і бар'ерным уласцівасцям, часта ўтвараючы базавы пласт на падкладцы перад нанясеннем іншых матэрыялаў.
Нягледзячы на тое, што гэты разнастайны набор матэрыялаў дазваляе выкарыстоўваць сучасныя тэхналогіі, паказчыкі праводнасці медзі, надзейнасці нікеля і найвышэйшай адбівальнай здольнасці срэбра застаюцца непераўзыдзенымі ў адпаведных сферах прымянення. Стабільная якасць гэтых высокачыстых металаў з'яўляецца асновай высокапрадукцыйных тонкаплёнкавых пакрыццяў.
Час публікацыі: 24 лістапада 2025 г.
